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本装置采用超大气压吸附，真空解吸的两床VPSA工艺流程。主要设备包括：罗茨鼓 风机、湿式罗茨真空泵、吸附器、氧气缓冲罐、切换阀门、仪表控制系统、电气控制系 统、仪表空气系统、氧气压缩机等九部分组成。
VPSA制氧工艺的优点
1、独特的解吸工艺；吸附器采用立式双层床结构，下层装活性氧化铝，减少水分对分子筛性能的影响，同时在分子筛真空再生阶段，利用解吸氮气和清洗气进行氧化铝的无热再生，提高分子筛的使用寿命。
2、专利回流工艺；吸附器采用特殊的气流分配结构，保证气流的均匀分配，提高分子筛床层的利用率。
3、阶梯式软启动均压；
4、独特的填料装填和压紧技术。
5、长寿命
6、超节能。
制氧机工艺流程图
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